◆大理石垂直立柱，真空空气轴承滑块。

◆基座和导向面经过抛光加工，精度高。

◆KUNZ真空空气轴承，使滑块座靠在恒定的垂直导轨运行。

◆滑块单元是伺服电机PC控制。

◆逆向标定方法，修正数据自动记录在补偿系统中。

◆碳纤维传感器延长杆，确保可靠的反向校正。

◆汽浮减震系统集成到大理石基面。